常見的真空泵種類有哪些?
發布時間:
2022-07-08
真空泵種類有(yǒu)很多,按工作(zuò)原理可以分為:氣體輸送泵和氣體捕集泵;按(àn)真空度可以分為:粗真空度、高真空度和超高真(zhēn)空度。按工(gōng)作原理分:一、氣體輸送(sòng)泵:1、變(biàn)容真空(kōng)泵1)往複式(shì)2)旋片式: (1)油封式:旋片、滑(huá)閥式、定片式(shì)、餘擺線式、多室旋片(piàn)式; (2)幹式螺杆; (3)液環式; (4)羅茨真空泵;2、動量傳輸泵1)分子(zǐ)真空泵:牽引分子泵、渦輪分子泵、複合分子泵;2)噴射真空(kōng)泵:液體噴射真空(kōng)泵、氣體噴射真空(kōng)泵、蒸(zhēng)汽噴射真空泵;3)擴散泵:自(zì)淨化擴散泵、分餾式擴散(sàn)泵(bèng);4)擴散噴射泵;5)離子輸運(yùn)泵;二、氣體捕集泵1、吸附泵;2、吸氣劑泵;3、吸氣劑(jì)離子(zǐ)泵:蒸發離子泵、濺射離子(zǐ)泵;4、低溫泵;

真空泵種類有很多,按工作原理可以分(fèn)為:氣體輸送泵和氣體捕集泵(bèng);按真空度可以分為:粗(cū)真空度、高真空度和超高真空度。
按工作原理分:
一、氣體輸送泵:
1、變容真空泵
1)往複式
2)旋片式:
(1)油封式:旋片、滑閥式、定片式、餘擺線式、多室旋(xuán)片式(shì);
(2)幹式螺杆;
(3)液環式;
(4)羅茨真空泵;
2、動量傳輸(shū)泵
1)分子真空泵:牽引分子泵、渦(wō)輪分子泵、複合分子泵;
2)噴射真空泵:液體(tǐ)噴(pēn)射(shè)真空泵、氣體噴射真空(kōng)泵、蒸汽噴射真空泵(bèng);
3)擴散泵:自淨化擴散泵、分餾式擴散泵;
4)擴散噴射泵;
5)離子輸運泵;
二(èr)、氣體捕集泵
1、吸附泵;
2、吸氣劑泵;
3、吸氣劑離子泵:蒸發離子泵、濺射(shè)離子(zǐ)泵;
4、低溫泵;
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